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110年智慧電子人才應用發展推動計畫(經濟部工業局廣告)
【日本專家】光阻材料・微影技術開發以及應用於防止製程不良・故障因應(12小時)

採「實體教室」及「網路視訊」兩者並行,請學員擇一參與

【主辦單位】經濟部工業局
【承辦單位】財團法人資訊工業策進會
【執行單位】三建資訊有限公司
【日期時間】5/27、5/28(四)(五),9:30~16:30
【課程定價】學員自費3,600元(定價12,000元,政府補助8400元),限額20名補助
【預定地點】台南/樹谷園區服務中心101會議室、雲端會議室
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議題綱要

  微電子(ME) 依循著大型積體電路(LSI) 的pattern微小化、高集積度、意即向著大容量化的方向,持續發展而來。也逐漸實現了資訊處理高速化、低價格化。可預測今後記憶體大容量化及系統LSI的高性能化之洪流將難以遏止。在此種洪流中,以光阻等材料開發為主軸的光微影技術之進步,對ME發展功不可沒。然而,以巧妙運用這些材料的曝光裝置為主軸的硬體技術、製程技術的進步更是日新月異。
光阻材料開發是pattern微小化、高解析度化為主,運用於曝光技術,得以縮短光波波長。目前為止有眾多選項、進行眾多測試,過程迂迴崎嶇。近40年來經歷巨大技術變革:
(1)導入投影曝光
(2)化學增幅型光阻/準分子雷射(Excimer laser)光源之採用
(3)極端紫外光源EUV。
本課題中,主講人將彙整以往技術.材料開發的實例,如何有效率技術開發.防止製程不良.故障的因應措施…等應用方針。

適合對象:從事研究開發、製造技術領域至少2年以上(工程師、中堅主管、領導者)

5月27、28日(四)(五)09:30~16:30 授課講師:日本業界專家(語言:日文演說.逐步口譯)
(一)技術典範轉移與半導體積體電路
  1-1 技術發展與典範轉移
  1-2 微電子(ME)與社會
  1-3 ME黎明期與光阻

(二)光阻的主流
  2-1 橡膠類負型光阻
    (1) 微影製程之奠定
    (2) 基本構造及製造方式
  2-2 酚醛樹脂(Novolak)類正型光阻
    (1) 組成
    (2) 基材樹脂製法、感光性化合物
    (3) 光阻透明性及解析度
    (4) I-Line光阻
    (5) 微影製程內的化學與工程管理
    (6) 光阻溶劑及對環境之影響
    (7) 為達高性能化所付出之努力與技術革新

(三)光阻的旁支
  3-1 X光厚膜光阻
  3-2 Top Surface Imaging:DESIRE
  3-3 Deep UV微影
    (1) 黎明期的光阻
    (2) 化學增幅型光阻
    (3) 光酸產生劑

(四)準分子雷射微影
    4-1 KrF光阻
    (1) 準分子雷射微影之課題
    (2) 光源・光學系之課題
    (3) 化學増幅型光阻之課題
    (4) 從材料進行改良
    (5) 從製程面進行改良
    (6) 實用化的光阻材料
  4-2 ArF光阻
    (1) ArF光阻的課題
  4-3 液浸微影

(五)極端紫外光源EUV微影
  5-1 光源・曝光機開發
  5-2 光阻開發

(六)今後展望
  6-1 關於顯像製程的看法

(七)平板顯示器材料

(八)實裝材料(聚醯亞胺)

(九)為能更有效率地達到技術革新

講師介紹

日本業界專家

/JSR(株)退役專家。
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報名及優惠

1. 報名洽詢:(02)2536-4647#10張小姐(電子郵箱sumken@sum-ken.com)
2. 招收人數:本班預計20人為原則,依報名及繳費完成之順序額滿為止。(預計12人即開課)
3. 原價12,000元/人,政府加碼70%補助8,400元,學員自費3,600元整(補助名額限20名)
4. 補助資格:限持身份證之本國國民,出席率8成且課後進行隨堂測驗,繳交「學員基本資料表」(含個資同意書),方可適用補助。
團報優惠方案 1位報名
原價 12,000元
學員自費 3,600元

※ 請於開課日期【前5天完成繳費】,課程現場繳費 恕不享以上優惠資格※
※即日起改採 【電子發票】,皆以Email寄達學員報名登記信箱,請註明服務機關之完整抬頭,協助開立發票※
【 匯款ATM繳費】中國信託銀行(822)城北分行 657-540116548三建資訊有限公司※
【 即期支票繳費】請開立抬頭為「三建資訊有限公司」並郵寄至「104台北市中山區吉林路245號4樓」※

視訊課程說明

(1)課程採「實體教室」及「線上視訊」兩者並行,請學員擇一參與。
(2)「線上學員」請回覆紙本講義的(郵寄地址),郵資費由本單位負擔。(海外地區亦同)。
(3)課程學員繳交之應備文件,由本單位負擔回郵郵資。務必請本人簽名並寄回。
(4)「線上學員」於上課期間,可能需配合打開鏡頭及麥克風,以核對身份。
(5)倘若學員藉線上學習之便,而有不法侵權情事。本單位有權隨時終止該位學員資格,學員需自負法律責任,且所繳費用概不退還。
(6)線上多元視訊課程,是防疫期間的寶貴資源,敬請學員愛惜使用。
(7)謝謝所有長期支持三建技術課程的學員。

注意事項

※ 結訓學員應配合經濟部工業局培後電訪調查。
※ 為尊重講師之智慧財產權,恕無法提供課程講義電子檔。
※ 課程前3天,學員將收到【上課通知】,務請留意Email信件。
※ 退費標準:課程前3天取消者,得全額退費;前3天內取消者,則酌收課程定價之10%手續費;課程當天取消者,恕不受理退費,惟可轉讓與其他人參訓。

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